УкраїнськийProsessiinsinööri 200 mm:n kiekkokankaassa jäljitti äkillisen muotin tuoton laskun vesineulattujen kuitukangaspyyhkeiden rullaan, jota käytettiin litografiaradalla. Pyyhkeet näyttivät puhtailta ja tuntuivat pehmeiltä, mutta nestemäisten hiukkasten määrä paljasti ongelman. Puolijohdetuotannossa puhdastilan pyyhin ei ole hyödyke; Se on prosessikulutusaine, joka säätelee suoraan kiekkoa koskettavien pintojen hiukkasten, ionisten ja orgaanisten kontaminaatioiden määrää.
Lyhyt vastaus valintakysymykseen on tämä: sovita pyyhkimen materiaali puhdastilan ISO-luokkaan, prosessivaiheeseen ja puhdistuskemiaan ja tarkista sitten jokainen saapuva erä hiukkas- ja irrotettavilla tiedoilla. Älä valitse pelkästään tuotemerkin, värin tai pakkaushinnan perusteella.
Aloita puhtaustiedoista, ei hinnasta
Puolijohteiden geometriat ulottuvat nyt matalan nanometrin alueelle, ja yksittäinen kriittistä vian kokoa suurempi hiukkanen voi tuhota suulakkeen. Tavalliset myymäläpyyhkeet tai teollisuuspyyhkeet eivät ole hyväksyttäviä kiekkojen läheisyydessä, koska ne irrottavat kuituja, vapauttavat ionisia jäämiä ja jättävät haihtumattomia jäämiä liuottimen haihtumisen jälkeen.
Neljä mittaria määrittelee puolijohdeluokan pyyhkimen:
- APC (airborne particle count): hiukkaset, joiden koko on vähintään 0,5 µm ja vähintään 5,0 µm, vapautuu ilmaan, yleensä ilmoitetaan neliömetriä kohti. Alempi on parempi.
- LPC (nestepartikkelien määrä): deionisoituun veteen tai IPA:han vapautuneet hiukkaset, ilmoitetaan millilitraa kohti. Tämä on suorin ennustaja kontaminaatiolle liuotinpyyhkimisen aikana.
- Ioniuuttuvat aineet: kloridi, natrium, kalium, sulfaatti ja muut ionit ppm:nä. Nämä ionit voivat aiheuttaa korroosiota ja kynnysjännitteen muutoksia laitteissa.
- NVR (haihtumaton jäännös): liuottimen haihduttamisen jälkeen jäljelle jäänyt jäännös, ilmoitettu milligrammoina pyyhkimen grammaa kohden. Korkea NVR jättää usvan optiikkaan ja kiekoihin.
Alla oleva kaavio näyttää tyypilliset suhteelliset hiukkasmäärät ilmassa yleisille pyyhinmateriaaliperheille. Arvot ovat havainnollistavia vertailua varten; Pyydä aina varsinainen testiraportti toimittajaltasi.
Kuitukangaspyyhkimet vapauttavat suuruusluokkaa enemmän hiukkasia kuin neulottu polyesteri; pidä ne poissa kiekkojen viereisistä portaista.
Vertaa päämateriaaliperheitä
Kudotut, neulotut ja kuitukangaspyyhkimet näkyvät kaikki puhdastilojen luetteloissa, mutta neulottu rakenne on standardi kriittiseen puolijohteiden puhdistukseen. Jatkuva filamenttipolyesterineulos vapauttaa paljon vähemmän hiukkasia kuin kudotut tai vesineulatut rakenteet, ja se kestää kiekkojen käsittelyssä käytettyjä liuottimia ja happoja.
| Materiaaliperhe | Tyypillinen rakenne | Soveltuu parhaiten | Päärajoitus |
|---|---|---|---|
| 100 % polyesterineulosta | Jatkuva filamenttineulos, tiivistetyt reunat | Kiekkojen viereinen puhdistus, ISO luokka 4-6 | Pienempi imukyky kuin mikrokuitu |
| Submikrokuitu polyester | Hieno denier -neule | Ohutkalvojäämät ja öljyiset maaperät | Tarkista yhteensopivuus aggressiivisten liuottimien kanssa |
| Mikrokuitu 80/20 | Polyesteri/nylon halkaistu mikrokuitu | Työkalupintojen ja yleispuhdistus | Nailonista voi jäädä jäämiä, jos laatu on huono |
| ESD-neule polyester | Polyesteriä johtavalla kuidulla | Staattiselle sähkölle herkät prosessivaiheet | Hieman korkeampi hiukkaspitoisuus kuin tavallisessa neuloksessa |
| Vesineulattu kuitukangas | Selluloosan ja polyesterin sekoitus | Huolto, sub-fab, ei-kiekkoalueet | Korkea hiukkastuotanto; pysy poissa kiekkoalueilta |
Kiekkoja päin olevissa sovelluksissa 100 % polyesterineulottu tiivisreunainen pyyhin on turvallisin lähtökohta. Tuote, kuten 1009LE puhdastilapyyhin antaa sinulle hallitun lähtötason; Pyyhkimien tuotantomme toimii ISO-luokan 5 ja luokan 6 puhdastiloissa, ja tekninen tiimi voi toimittaa hiukkas- ja irrotettavat raportit pätevöintiä varten.
Mukautetut 1009LE puhdastilapyyhkimien toimittajat, OEM/ODM-tehdas - Suzhou Jujie Electron Suzhou Jujie Electron Co., Ltd on Kiinan OEM / ODM 1009LE Cleanroom Wiper -toimittaja ja 1009LE Cleanroom Wiper -tehdas, olemme erikoistuneet ... Näytä tuote → Yhdistä Wiper ISO-luokkaan ja prosessialueeseen
Sama fab voi käyttää kolmea eri pyyhkimet kolmella eri vyöhykkeellä. Sääntö on yksinkertainen: pyyhkimen on oltava puhtaampi kuin ympäristö, jossa sitä käytetään, koska pyyhkiminen voi saostaa hiukkasia uudelleen pinnalle.
- ISO-luokka 4-5 (litografia, etsaus, pinnoitus): käytä 100 % polyesterineulosta tiivistetyillä reunoilla ja dokumentoidulla LPC:llä vähintään 0,5 µm. Älä koskaan käytä kuitukangaspyyhkeitä näillä alueilla.
- ISO-luokka 6 (rata, metrologia, EFEM, kuormitusaukot): polyesterineulos tai ESD-neulos portaan staattisen herkkyyden mukaan.
- ISO-luokka 7-8 (laitteiden huolto, alaosa, pukualueet): mikrokuitu- tai kudotut pyyhkimet hallitsevat kustannuksia ja tarjoavat silti luotettavan siivouksen.
Kun työ on orgaanisten jäämien poistamista työkalun ulkopinnasta ISO-luokan 7 alueilla, JW08522 mikrokuituliina imee painon mukaan huomattavasti enemmän nestettä kuin tavallinen neule, mikä lyhentää puhdistusaikaa ja vähentää kemikaalien kulutusta.
Mukautetut JW-08522 mikrokuitupyyhkimien toimittajat, OEM/ODM-tehdas - Suzhou Jujie Elect Suzhou Jujie Electron Co., Ltd on kiinalainen OEM / ODM JW-08522 mikrokuitupyyhkimien toimittaja ja JW-08522 mikrokuitupyyhkimien tehdas, olemme erikoistuneet ... Näytä tuote → Alla oleva viivakaavio havainnollistaa, miksi tekniikalla ja reunan laadulla on merkitystä. Hyvin tiivistetty neulospyyhin saavuttaa matalan vakaan tilan muutaman vedon jälkeen; huippuluokan pyyhin pitää vuotoa korkeammalla tasolla paljon pidempään.
Ensimmäiset vedot vapauttavat aina eniten hiukkasia; tiivistetty reuna alentaa sekä huippu- että vakaan tilan tasoa.
Reunojen tiivistys: Pieni yksityiskohta, jolla on suuri vaikutus
Leikkatut reunat ovat ensisijainen irtonaisten kuitujen lähde puhdastilapyyhkimessä. Kun terä leikkaa neulekankaan läpi, se avaa silmukat ja jättää filamentin päät, jotka voivat irrota pyyhkimisen aikana. Reunan tiivistäminen lämmöllä, ultraäänihitsauksella tai lasersulatuksella vangitsee nämä filamentit ja pitää ne poissa prosessista.
- Käytä laser- tai ultraäänitiivistettyjä reunoja ISO Class 5 -luokan ja puhtaammissa sovelluksissa.
- Tarkista, että tiivistetty reuna pysyy joustavana; jäykkä reuna voi naarmuttaa optiikkaa ja kiillotettuja pintoja.
- Tarkista suurennettava reuna tarkistuksen aikana ja pyydä reunahiukkastietoja.
Katso lisätietoja siitä, miksi hiukkasten vapautuminen tapahtuu jopa hyvällä pyyhkimellä analyysimme siitä, miksi puhdastilapyyhkimet vapauttavat hiukkasia pyyhkimisen aikana .
Lisää ESD-hallinta, jossa staattinen on riski
Pyyhin voi muodostaa staattista varausta liukuessaan pinnan poikki. Kiekkokankaassa tämä panos voi vahingoittaa portin oksideja tai houkutella ilmassa olevia hiukkasia juuri puhdistettavalle alueelle. ESD-pyyhkimet on neulottu pienestä osasta johtavaa kuitua, tyypillisesti hiilikuormitettua polyesteriä, joka tyhjentää varauksen maahan, kun käyttäjä on maadoitettu rannehihnan ja maton kautta.
Käytä ESD-pyyhkijää kiekkojen siirtoalueilla, latausporteissa, ristikon käsittelyssä, metrologisissa työkaluissa ja kaikkialla, missä herkkä laite istuu ilman tukea.
Kun hyväksyt pyyhkimet näille alueille, sisällytä ESD-luokka kokeeseen. The ESD puhdastilan pyyhin Saman sarjan tuotteita voidaan verrata rinnakkain vakioneuloksen kanssa hiukkasten ja varauksen vaimenemisen kannalta.
Mukautetut ESD-pyyhkimien toimittajat, OEM/ODM-tehdas - Suzhou Jujie Electron Co.,Ltd Suzhou Jujie Electron Co., Ltd on Kiinan OEM / ODM ESD-pyyhkimien toimittaja ja ESD-pyyhkimien tehdas, olemme erikoistuneet räätälöityihin ESD-pyyhkimiin ja muihin... Näytä tuote → Tarkista toimittaja ennen kuin sitoudut
Käyttöturvallisuustiedote kertoo vain, mitä toimittaja on mitannut, ei mitä hän valvoo. Koska pyyhin koskettaa samoja pintoja, jotka koskettavat kiekkoa, eräiden välinen johdonmukaisuus on todellinen vaatimus. Käytä tätä tarkistuslistaa toimittajan hyväksynnän aikana:
- Puhdastilavalmistus: pyyhin tulee pestä, kuivata, sinetöidä ja pakata puhdastilaan vähintään yhtä puhtaaksi kuin oma prosessialue.
- Erän jäljitettävyys: jokaisessa erässä tulee olla eränumero ja testiraportti, joka kattaa APC:n, LPC:n, ioniset uutteet ja NVR:n.
- Liuottimen yhteensopivuus: tarkista pyyhin IPA:ssa, asetonissa ja kaikissa käyttämäsi sekakemiallisissa aineissa ennen hyväksymistä.
- Pakkauksen eheys: kaksinkertainen puhdastilapoly on minimi; lisää gammasäteilyä vain, jos steriiliyttä todella vaaditaan.
- Muutosilmoitus: pyydä toimittajaa ilmoittamaan sinulle kaikista muutoksista raaka-aineessa, pesuaineessa, leikkausmenetelmässä tai sulkemisprosessissa.
Jos haluat muuttaa nämä vaiheet muodollisiksi pyyhkimen määrityksiksi, ota yhteyttä puhdastilan kulutustarviketiimiimme ISO-luokkasi, puhdistusliuottimesi ja prosessivaiheesi kanssa, ja autamme sinua sovittamaan pyyhkimen laadun riskiprofiiliin.
Usein kysytyt kysymykset
Voinko käyttää samaa pyyhintä litografiaan ja osa-alan huoltoon?
Ei. Pidä kiekkoon päin olevat pyyhkimet erillään huoltopyyhkimistä. Vesineulatut kuitukangaspyyhkimet sopivat hyvin lattioihin ja laitteiden kehyksiin, mutta niitä ei saa koskaan käyttää litografiassa, etsauksessa tai muilla alueilla, joissa kiekot ovat alttiina.
Onko korkeampi hinta merkki paremmasta siisteydestä?
Ei aina. Hinta heijastelee usein pakkausta ja tuotemerkin asemaa. Arvioi pyyhin hiukkasten ja erotettavien tietojen, ei hinnan perusteella; Keskihintainen tiivistetyn reunan polyesterineulos voi menestyä korkeammalla tuotteella omassa kemiassasi.
Tarvitsenko steriilejä pyyhkeitä puolijohdepuhdashuoneeseen?
Steriiliys ei ole vohvelikankaiden tärkein huolenaihe; hiukkasten määrä on. Steriilit pyyhkimet ovat ensisijaisesti farmaseuttisten ja lääkinnällisten laitteiden vaatimus. Jos valitset steriilejä pyyhkeitä, varmista, että sterilointimenetelmä ei heikennä neulerakennetta tai lisää ulosvedettävää määrää.
Kuinka usein minun tulee hyväksyä uudelleen toimittajan vaihdon jälkeen?
Hyväksy uudelleen aina, kun toimittaja vaihtaa raaka-ainetta, rakennetta, reunatiivistystä, pesuainetta tai pakkauslinjaa. Jopa muutos huuhteluveden laadussa voi muuttaa ionisia uutettavia aineita suurella marginaalilla. Dokumentoitu uudelleenkelpoisuus suojaa prosessia ja luo kirjausketjun.
Lopullisen päätöksen tekeminen
Oikea puhdastilapyyhin puolijohteiden tuotantoon on se, joka täyttää prosessirajat hiukkasten, ionien ja jäännösten osalta, vastaa vyöhykkeen ISO-luokkaa, kestää puhdistuskemiaasi ja tulee toimittajalta, joka pystyy todistamaan erien yhtenäisyyden. Valitse tiivistetyt reunat, joissa kuidut ovat riski, ja ESD-rakenne, jossa staattinen sähkö on riski. Yllä olevan kehyksen avulla pyyhkinten ostamisesta tulee pikemminkin kontrolloitu prosessipäätös kuin rutiiniosto.
